膜式气浮隔振光学平台

双气室空气弹簧隔振,精密敏感实验专用

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产品说明

CORZC气浮隔振系列光学平台采用高刚性多层复合台面（高导磁不锈钢顶板、密封隔离杯层、蜂窝桁架层及底板钢层），顶板经精密磨削和迪纹哑光处理，平面度≤0.05 mm/600×600 mm（＜50 μm/m²），粗糙度≤0.8 μm，表面布有M6螺纹孔（间距25 mm，孔深25 mm），可有效防止液体、杂质渗入并阻断气流对流；机架根据台面规格采用四支撑或六支撑结构并配置连杆，底部集成水平脚轮，便于移动与调平。隔振系统采用双气室（双腔阻尼）空气弹簧设计，工作时需连续供应压缩空气，通过主气室与附加气室之间的节流孔产生压差和阻尼，显著缩短调平稳定时间，竖直与水平固有频率均保持在2 Hz以内（典型1～2 Hz），能高效衰减固有频率以上的环境振动，尤其适用于较高楼层等存在横向和纵向振动的敏感实验环境。标配静音空气压缩机，台面厚度可选100 mm、200 mm、300 mm，标准尺寸覆盖1200 mm×900 mm至4000 mm×1500 mm，并可提供焊接、粘接及无磁台面等定制选项。

产品属性

隔振方式	气浮隔振（空气弹簧）	平台高度	800 mm
固有频率	垂直：1.0~2.0 Hz；水平：1.0~2.0 Hz	台面平面度	0.05~0.10 mm/600 × 600 mm
台面粗糙度	0.8 μm	空气源	标配静音空气压缩机
台面螺纹孔规格	M6	台面螺孔间距	25 mm × 25 mm

膜式气浮隔振光学平台，焊接台面

CORZC提供的高精度气浮隔振光学平台标配静音空气压缩机，其6mm厚带磁不锈钢顶板经精密加工和哑光处理，平面度达0.05 mm/m²，粗糙度≤0.8 μm。台面厚度可选100 mm、200 mm或300 mm焊接台面，表面M6螺纹孔间距与孔深均为25 mm。平台标准尺寸覆盖1200 mm×900 mm至4000 mm×1500 mm，如需其他特殊尺寸定制，请联系CORZC客服。

螺纹孔规格：M6
螺纹孔间距：25 mm
高度：800 mm (可定制)
脚轮设计，方便移动

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型号				交期	型号参数
SPQ-M-1209	1200 mm × 900 mm × 100 mm	气浮隔振（空气弹簧）	≤ 2 Hz	4周	点击放大气浮隔振光学平台，台面尺寸 1200 mm × 900 mm × 100 mm，高度 800 mm，固有频率垂直：1.0~2.0 Hz；水平：1.0~2.0 Hz，焊接台面型号参数与资料 3D 模型文件台面尺寸 1200 mm × 900 mm × 100 mm 平台高度 800 mm 固有频率垂直：1.0~2.0 Hz；水平：1.0~2.0 Hz 隔振方式气浮隔振（空气弹簧）台面平面度 0.05~0.10 mm/600×600mm 台面粗糙度 0.8 μm 调节方式自动调平气源静音空气压缩机＜ 50 dB 支撑腿数 4 自重 180 kg 载荷 292 kg 调节高度 ± 10 mm 重复定位精度 ± 0.1 mm
SPQ-M-1510	1500 mm × 1000 mm × 200 mm	气浮隔振（空气弹簧）	≤ 2 Hz	4周	点击放大气浮隔振光学平台，台面尺寸 1500 mm × 1000 mm × 200 mm，高度 800 mm，固有频率垂直：1.0~2.0 Hz；水平：1.0~2.0 Hz，焊接台面型号参数与资料 3D 模型文件台面尺寸 1500 mm × 1000 mm × 200 mm 平台高度 800 mm 固有频率垂直：1.0~2.0 Hz；水平：1.0~2.0 Hz 隔振方式气浮隔振（空气弹簧）台面平面度 0.05~0.10 mm/600×600mm 台面粗糙度 0.8 μm 调节方式自动调平气源静音空气压缩机＜ 50 dB 支撑腿数 4 自重 290 kg 载荷 983 kg 调节高度 ± 10 mm 重复定位精度 ± 0.1 mm
SPQ-M-1810	1800 mm × 1000 mm × 200 mm	气浮隔振（空气弹簧）	≤ 2 Hz	4周	点击放大气浮隔振光学平台，台面尺寸 1800 mm × 1000 mm × 200 mm，高度 800 mm，固有频率垂直：1.0~2.0 Hz；水平：1.0~2.0 Hz，焊接台面型号参数与资料 3D 模型文件台面尺寸 1800 mm × 1000 mm × 200 mm 平台高度 800 mm 固有频率垂直：1.0~2.0 Hz；水平：1.0~2.0 Hz 隔振方式气浮隔振（空气弹簧）台面平面度 0.05~0.10 mm/600×600mm 台面粗糙度 0.8 μm 调节方式自动调平气源静音空气压缩机＜ 50 dB 支撑腿数 4 自重 320 kg 载荷 943 kg 调节高度 ± 10 mm 重复定位精度 ± 0.1 mm
SPQ-M-2010	2000 mm × 1000 mm × 200 mm	气浮隔振（空气弹簧）	≤ 2 Hz	4周	点击放大气浮隔振光学平台，台面尺寸 2000 mm × 1000 mm × 200 mm，高度 800 mm，固有频率垂直：1.0~2.0 Hz；水平：1.0~2.0 Hz，焊接台面型号参数与资料 3D 模型文件台面尺寸 2000 mm × 1000 mm × 200 mm 平台高度 800 mm 固有频率垂直：1.0~2.0 Hz；水平：1.0~2.0 Hz 隔振方式气浮隔振（空气弹簧）台面平面度 0.05~0.10 mm/600×600mm 台面粗糙度 0.8 μm 调节方式自动调平气源静音空气压缩机＜ 50 dB 支撑腿数 4 自重 355 kg 载荷 912 kg 调节高度 ± 10 mm 重复定位精度 ± 0.1 mm
SPQ-M-1512	1500 mm × 1200 mm × 200 mm	气浮隔振（空气弹簧）	≤ 2 Hz	4周	点击放大气浮隔振光学平台，台面尺寸 1500 mm × 1200 mm × 200 mm，高度 800 mm，固有频率垂直：1.0~2.0 Hz；水平：1.0~2.0 Hz，焊接台面型号参数与资料 3D 模型文件台面尺寸 1500 mm × 1200 mm × 200 mm 平台高度 800 mm 固有频率垂直：1.0~2.0 Hz；水平：1.0~2.0 Hz 隔振方式气浮隔振（空气弹簧）台面平面度 0.05~0.10 mm/600×600mm 台面粗糙度 0.8 μm 调节方式自动调平气源静音空气压缩机＜ 50 dB 支撑腿数 4 自重 325 kg 载荷 941 kg 调节高度 ± 10 mm 重复定位精度 ± 0.1 mm
SPQ-M-1812	1800 mm × 1200 mm × 200 mm	气浮隔振（空气弹簧）	≤ 2 Hz	4周	点击放大气浮隔振光学平台，台面尺寸 1800 mm × 1200 mm × 200 mm，高度 800 mm，固有频率垂直：1.0~2.0 Hz；水平：1.0~2.0 Hz，焊接台面型号参数与资料 3D 模型文件台面尺寸 1800 mm × 1200 mm × 200 mm 平台高度 800 mm 固有频率垂直：1.0~2.0 Hz；水平：1.0~2.0 Hz 隔振方式气浮隔振（空气弹簧）台面平面度 0.05~0.10 mm/600×600mm 台面粗糙度 0.8 μm 调节方式自动调平气源静音空气压缩机＜ 50 dB 支撑腿数 4 自重 365 kg 载荷 890 kg 调节高度 ± 10 mm 重复定位精度 ± 0.1 mm
SPQ-M-2012	2000 mm × 1200 mm × 200 mm	气浮隔振（空气弹簧）	≤ 2 Hz	4周	点击放大气浮隔振光学平台，台面尺寸 2000 mm × 1200 mm × 200 mm，高度 800 mm，固有频率垂直：1.0~2.0 Hz；水平：1.0~2.0 Hz，焊接台面型号参数与资料 3D 模型文件台面尺寸 2000 mm × 1200 mm × 200 mm 平台高度 800 mm 固有频率垂直：1.0~2.0 Hz；水平：1.0~2.0 Hz 隔振方式气浮隔振（空气弹簧）台面平面度 0.05~0.10 mm/600×600mm 台面粗糙度 0.8 μm 调节方式自动调平气源静音空气压缩机＜ 50 dB 支撑腿数 4 自重 400 kg 载荷 856 kg 调节高度 ± 10 mm 重复定位精度 ± 0.1 mm
SPQ-M-2412	2400 mm × 1200 mm × 200 mm	气浮隔振（空气弹簧）	≤ 2 Hz	4周	点击放大气浮隔振光学平台，台面尺寸 2200 mm × 1200 mm × 200 mm，高度 800 mm，固有频率垂直：1.0~2.0 Hz；水平：1.0~2.0 Hz，焊接台面型号参数与资料 3D 模型文件台面尺寸 2400 mm × 1200 mm × 200 mm 平台高度 800 mm 固有频率垂直：1.0~2.0 Hz；水平：1.0~2.0 Hz 隔振方式气浮隔振（空气弹簧）台面平面度 0.05~0.10 mm/600×600mm 台面粗糙度 0.8 μm 调节方式自动调平气源静音空气压缩机＜ 50 dB 支撑腿数 4 自重 460 kg 载荷 789 kg 调节高度 ± 10 mm 重复定位精度 ± 0.1 mm
SPQ-M-3012	3000 mm × 1200 mm × 300 mm	气浮隔振（空气弹簧）	≤ 2 Hz	4周	点击放大气浮隔振光学平台，台面尺寸 3000 mm × 1200 mm × 300 mm，高度 800 mm，固有频率垂直：1.0~2.0 Hz；水平：1.0~2.0 Hz，焊接台面型号参数与资料 3D 模型文件台面尺寸 3000 mm × 1200 mm × 300 mm 平台高度 800 mm 固有频率垂直：1.0~2.0 Hz；水平：1.0~2.0 Hz 隔振方式气浮隔振（空气弹簧）台面平面度 0.05~0.10 mm/600×600mm 台面粗糙度 0.8 μm 调节方式自动调平气源静音空气压缩机＜ 50 dB 支撑腿数 6 自重 690 kg 载荷 1179 kg 调节高度 ± 10 mm 重复定位精度 ± 0.1 mm
SPQ-M-2015	2000 mm × 1500 mm × 200 mm	气浮隔振（空气弹簧）	≤ 2 Hz	4周	点击放大气浮隔振光学平台，台面尺寸 2000 mm × 1500 mm × 200 mm，高度 800 mm，固有频率垂直：1.0~2.0 Hz；水平：1.0~2.0 Hz，焊接台面型号参数与资料 3D 模型文件台面尺寸 2000 mm × 1500 mm × 200 mm 平台高度 800 mm 固有频率垂直：1.0~2.0 Hz；水平：1.0~2.0 Hz 隔振方式气浮隔振（空气弹簧）台面平面度 0.05~0.10 mm/600×600mm 台面粗糙度 0.8 μm 调节方式自动调平气源静音空气压缩机＜ 50 dB 支撑腿数 4 自重 400 kg 载荷 705 kg 调节高度 ± 10 mm 重复定位精度 ± 0.1 mm
SPQ-M-2415	2400 mm × 1500 mm × 200 mm	气浮隔振（空气弹簧）	≤ 2 Hz	4周	点击放大气浮隔振光学平台，台面尺寸 2400 mm × 1500 mm × 200 mm，高度 800 mm，固有频率垂直：1.0~2.0 Hz；水平：1.0~2.0 Hz，焊接台面型号参数与资料 3D 模型文件台面尺寸 2400 mm × 1500 mm × 200 mm 平台高度 800 mm 固有频率垂直：1.0~2.0 Hz；水平：1.0~2.0 Hz 隔振方式气浮隔振（空气弹簧）台面平面度 0.05~0.10 mm/600×600mm 台面粗糙度 0.8 μm 调节方式自动调平气源静音空气压缩机＜ 50 dB 支撑腿数 4 自重 540 kg 载荷 699 kg 调节高度 ± 10 mm 重复定位精度 ± 0.1 mm
SPQ-M-3015	3000 mm × 1500 mm × 300 mm	气浮隔振（空气弹簧）	≤ 2 Hz	4周	点击放大气浮隔振光学平台，台面尺寸 3000 mm × 1500 mm × 300 mm，高度 800 mm，固有频率垂直：1.0~2.0 Hz；水平：1.0~2.0 Hz，焊接台面型号参数与资料 3D 模型文件台面尺寸 3000 mm × 1500 mm × 300 mm 平台高度 800 mm 固有频率垂直：1.0~2.0 Hz；水平：1.0~2.0 Hz 隔振方式气浮隔振（空气弹簧）台面平面度 0.05~0.10 mm/600×600mm 台面粗糙度 0.8 μm 调节方式自动调平气源静音空气压缩机＜ 50 dB 支撑腿数 6 自重 810 kg 载荷 1049 kg 调节高度 ± 10 mm 重复定位精度 ± 0.1 mm
SPQ-M-4015	4000 mm × 1500 mm × 300 mm	气浮隔振（空气弹簧）	≤ 2 Hz	4周	点击放大气浮隔振光学平台，台面尺寸 4000 mm × 1500 mm × 300 mm，高度 800 mm，固有频率垂直：1.0~2.0 Hz；水平：1.0~2.0 Hz，焊接台面型号参数与资料 3D 模型文件台面尺寸 4000 mm × 1500 mm × 300 mm 平台高度 800 mm 固有频率垂直：1.0~2.0 Hz；水平：1.0~2.0 Hz 隔振方式气浮隔振（空气弹簧）台面平面度 0.05~0.10 mm/600×600mm 台面粗糙度 0.8 μm 调节方式自动调平气源静音空气压缩机＜ 50 dB 支撑腿数 8 自重 1050 kg 载荷 1410 kg 调节高度 ± 10 mm 重复定位精度 ± 0.1 mm

膜式气浮隔振光学平台，粘接台面

CORZC提供的高精度气浮隔振光学平台标配静音空气压缩机，其5mm厚带磁不锈钢顶板经精密加工和哑光处理，平面度达0.05 mm/m²，粗糙度≤0.8 μm。台面厚度可选100 mm、200 mm或300 mm粘接台面，表面M6螺纹孔间距与孔深均为25 mm。平台标准尺寸覆盖1200 mm×900 mm至4000 mm×1500 mm，如需其他特殊尺寸定制，请联系CORZC客服。

螺纹孔规格：M6
螺纹孔间距：25 mm
高度：800 mm (可定制)
脚轮设计，方便移动

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型号				交期	型号参数
SPQ-F-1209	1200 mm × 900 mm × 100 mm	气浮隔振（空气弹簧）	≤ 2 Hz	4周	点击放大气浮隔振光学平台，台面尺寸 1200 mm × 900 mm × 100 mm，高度 800 mm，固有频率垂直：1.0~2.0 Hz；水平：1.0~2.0 Hz，粘接台面型号参数与资料 3D 模型文件台面尺寸 1200 mm × 900 mm × 100 mm 平台高度 800 mm 固有频率垂直：1.0~2.0 Hz；水平：1.0~2.0 Hz 隔振方式气浮隔振（空气弹簧）台面平面度 0.05~0.10 mm/600×600mm 台面粗糙度 0.8 μm 调节方式自动调平气源静音空气压缩机＜ 50 dB 支撑腿数 4 自重 187 kg 载荷 292 kg 调节高度 ± 10 mm 重复定位精度 ± 0.1 mm
SPQ-F-1510	1500 mm × 1000 mm × 200 mm	气浮隔振（空气弹簧）	≤ 2 Hz	4周	点击放大气浮隔振光学平台，台面尺寸 1500 mm × 1000 mm × 200 mm，高度 800 mm，固有频率垂直：1.0~2.0 Hz；水平：1.0~2.0 Hz，粘接台面型号参数与资料 3D 模型文件台面尺寸 1500 mm × 1000 mm × 200 mm 平台高度 800 mm 固有频率垂直：1.0~2.0 Hz；水平：1.0~2.0 Hz 隔振方式气浮隔振（空气弹簧）台面平面度 0.05~0.10 mm/600×600mm 台面粗糙度 0.8 μm 调节方式自动调平气源静音空气压缩机＜ 50 dB 支撑腿数 4 自重 305 kg 载荷 983 kg 调节高度 ± 10 mm 重复定位精度 ± 0.1 mm
SPQ-F-1810	1800 mm × 1000 mm × 200 mm	气浮隔振（空气弹簧）	≤ 2 Hz	4周	点击放大气浮隔振光学平台，台面尺寸 1800 mm × 1000 mm × 200 mm，高度 800 mm，固有频率垂直：1.0~2.0 Hz；水平：1.0~2.0 Hz，粘接台面型号参数与资料 3D 模型文件台面尺寸 1800 mm × 1000 mm × 200 mm 平台高度 800 mm 固有频率垂直：1.0~2.0 Hz；水平：1.0~2.0 Hz 隔振方式气浮隔振（空气弹簧）台面平面度 0.05~0.10 mm/600×600mm 台面粗糙度 0.8 μm 调节方式自动调平气源静音空气压缩机＜ 50 dB 支撑腿数 4 自重 344 kg 载荷 943 kg 调节高度 ± 10 mm 重复定位精度 ± 0.1 mm
SPQ-F-2010	2000 mm × 1000 mm × 200 mm	气浮隔振（空气弹簧）	≤ 2 Hz	4周	点击放大气浮隔振光学平台，台面尺寸 2000 mm × 1000 mm × 200 mm，高度 800 mm，固有频率垂直：1.0~2.0 Hz；水平：1.0~2.0 Hz，粘接台面型号参数与资料 3D 模型文件台面尺寸 2000 mm × 1000 mm × 200 mm 平台高度 800 mm 固有频率垂直：1.0~2.0 Hz；水平：1.0~2.0 Hz 隔振方式气浮隔振（空气弹簧）台面平面度 0.05~0.10 mm/600×600mm 台面粗糙度 0.8 μm 调节方式自动调平气源静音空气压缩机＜ 50 dB 支撑腿数 4 自重 375 kg 载荷 912 kg 调节高度 ± 10 mm 重复定位精度 ± 0.1 mm
SPQ-F-1512	1500 mm × 1200 mm × 200 mm	气浮隔振（空气弹簧）	≤ 2 Hz	4周	点击放大气浮隔振光学平台，台面尺寸 1500 mm × 1200 mm × 200 mm，高度 800 mm，固有频率垂直：1.0~2.0 Hz；水平：1.0~2.0 Hz，粘接台面型号参数与资料 3D 模型文件台面尺寸 1500 mm × 1200 mm × 200 mm 平台高度 800 mm 固有频率垂直：1.0~2.0 Hz；水平：1.0~2.0 Hz 隔振方式气浮隔振（空气弹簧）台面平面度 0.05~0.10 mm/600×600mm 台面粗糙度 0.8 μm 调节方式自动调平气源静音空气压缩机＜ 50 dB 支撑腿数 4 自重 344 kg 载荷 941 kg 调节高度 ± 10 mm 重复定位精度 ± 0.1 mm
SPQ-F-1812	1800 mm × 1200 mm × 200 mm	气浮隔振（空气弹簧）	≤ 2 Hz	4周	点击放大气浮隔振光学平台，台面尺寸 1800 mm × 1200 mm × 200 mm，高度 800 mm，固有频率垂直：1.0~2.0 Hz；水平：1.0~2.0 Hz，粘接台面型号参数与资料 3D 模型文件台面尺寸 1800 mm × 1200 mm × 200 mm 平台高度 800 mm 固有频率垂直：1.0~2.0 Hz；水平：1.0~2.0 Hz 隔振方式气浮隔振（空气弹簧）台面平面度 0.05~0.10 mm/600×600mm 台面粗糙度 0.8 μm 调节方式自动调平气源静音空气压缩机＜ 50 dB 支撑腿数 4 自重 395 kg 载荷 890 kg 调节高度 ± 10 mm 重复定位精度 ± 0.1 mm
SPQ-F-2012	2000 mm × 1200 mm × 200 mm	气浮隔振（空气弹簧）	≤ 2 Hz	4周	点击放大气浮隔振光学平台，台面尺寸 2000 mm × 1200 mm × 200 mm，高度 800 mm，固有频率垂直：1.0~2.0 Hz；水平：1.0~2.0 Hz，粘接台面型号参数与资料 3D 模型文件台面尺寸 2000 mm × 1200 mm × 200 mm 平台高度 800 mm 固有频率垂直：1.0~2.0 Hz；水平：1.0~2.0 Hz 隔振方式气浮隔振（空气弹簧）台面平面度 0.05~0.10 mm/600×600mm 台面粗糙度 0.8 μm 调节方式自动调平气源静音空气压缩机＜ 50 dB 支撑腿数 4 自重 432 kg 载荷 856 kg 调节高度 ± 10 mm 重复定位精度 ± 0.1 mm
SPQ-F-2412	2400 mm × 1200 mm × 200 mm	气浮隔振（空气弹簧）	≤ 2 Hz	4周	点击放大气浮隔振光学平台，台面尺寸 2200 mm × 1200 mm × 200 mm，高度 800 mm，固有频率垂直：1.0~2.0 Hz；水平：1.0~2.0 Hz，粘接台面型号参数与资料 3D 模型文件台面尺寸 2400 mm × 1200 mm × 200 mm 平台高度 800 mm 固有频率垂直：1.0~2.0 Hz；水平：1.0~2.0 Hz 隔振方式气浮隔振（空气弹簧）台面平面度 0.05~0.10 mm/600×600mm 台面粗糙度 0.8 μm 调节方式自动调平气源静音空气压缩机＜ 50 dB 支撑腿数 4 自重 495 kg 载荷 789 kg 调节高度 ± 10 mm 重复定位精度 ± 0.1 mm
SPQ-F-3012	3000 mm × 1200 mm × 300 mm	气浮隔振（空气弹簧）	≤ 2 Hz	4周	点击放大气浮隔振光学平台，台面尺寸 3000 mm × 1200 mm × 300 mm，高度 800 mm，固有频率垂直：1.0~2.0 Hz；水平：1.0~2.0 Hz，粘接台面型号参数与资料 3D 模型文件台面尺寸 3000 mm × 1200 mm × 300 mm 平台高度 800 mm 固有频率垂直：1.0~2.0 Hz；水平：1.0~2.0 Hz 隔振方式气浮隔振（空气弹簧）台面平面度 0.05~0.10 mm/600×600mm 台面粗糙度 0.8 μm 调节方式自动调平气源静音空气压缩机＜ 50 dB 支撑腿数 6 自重 790 kg 载荷 1179 kg 调节高度 ± 10 mm 重复定位精度 ± 0.1 mm
SPQ-F-2015	2000 mm × 1500 mm × 200 mm	气浮隔振（空气弹簧）	≤ 2 Hz	4周	点击放大气浮隔振光学平台，台面尺寸 2000 mm × 1500 mm × 200 mm，高度 800 mm，固有频率垂直：1.0~2.0 Hz；水平：1.0~2.0 Hz，粘接台面型号参数与资料 3D 模型文件台面尺寸 2000 mm × 1500 mm × 200 mm 平台高度 800 mm 固有频率垂直：1.0~2.0 Hz；水平：1.0~2.0 Hz 隔振方式气浮隔振（空气弹簧）台面平面度 0.05~0.10 mm/600×600mm 台面粗糙度 0.8 μm 调节方式自动调平气源静音空气压缩机＜ 50 dB 支撑腿数 4 自重 470kg 载荷 705 kg 调节高度 ± 10 mm 重复定位精度 ± 0.1 mm
SPQ-F-2415	2400 mm × 1500 mm × 200 mm	气浮隔振（空气弹簧）	≤ 2 Hz	4周	点击放大气浮隔振光学平台，台面尺寸 2400 mm × 1500 mm × 200 mm，高度 800 mm，固有频率垂直：1.0~2.0 Hz；水平：1.0~2.0 Hz，粘接台面型号参数与资料 3D 模型文件台面尺寸 2400 mm × 1500 mm × 200 mm 平台高度 800 mm 固有频率垂直：1.0~2.0 Hz；水平：1.0~2.0 Hz 隔振方式气浮隔振（空气弹簧）台面平面度 0.05~0.10 mm/600×600mm 台面粗糙度 0.8 μm 调节方式自动调平气源静音空气压缩机＜ 50 dB 支撑腿数 4 自重 540 kg 载荷 699 kg 调节高度 ± 10 mm 重复定位精度 ± 0.1 mm
SPQ-F-3015	3000 mm × 1500 mm × 300 mm	气浮隔振（空气弹簧）	≤ 2 Hz	4周	点击放大气浮隔振光学平台，台面尺寸 3000 mm × 1500 mm × 300 mm，高度 800 mm，固有频率垂直：1.0~2.0 Hz；水平：1.0~2.0 Hz，粘接台面型号参数与资料 3D 模型文件台面尺寸 3000 mm × 1500 mm × 300 mm 平台高度 800 mm 固有频率垂直：1.0~2.0 Hz；水平：1.0~2.0 Hz 隔振方式气浮隔振（空气弹簧）台面平面度 0.05~0.10 mm/600×600mm 台面粗糙度 0.8 μm 调节方式自动调平气源静音空气压缩机＜ 50 dB 支撑腿数 6 自重 812 kg 载荷 1049 kg 调节高度 ± 10 mm 重复定位精度 ± 0.1 mm
SPQ-F-4015	4000 mm × 1500 mm × 300 mm	气浮隔振（空气弹簧）	≤ 2 Hz	4周	点击放大气浮隔振光学平台，台面尺寸 4000 mm × 1500 mm × 300 mm，高度 800 mm，固有频率垂直：1.0~2.0 Hz；水平：1.0~2.0 Hz，粘接台面型号参数与资料 3D 模型文件台面尺寸 4000 mm × 1500 mm × 300 mm 平台高度 800 mm 固有频率垂直：1.0~2.0 Hz；水平：1.0~2.0 Hz 隔振方式气浮隔振（空气弹簧）台面平面度 0.05~0.10 mm/600×600mm 台面粗糙度 0.8 μm 调节方式自动调平气源静音空气压缩机＜ 50 dB 支撑腿数 8 自重 1060 kg 载荷 1410 kg 调节高度 ± 10 mm 重复定位精度 ± 0.1 mm

膜式气浮隔振光学平台，无磁台面

CORZC提供的高精度气浮隔振光学平台标配静音空气压缩机，其5 mm厚的304无磁不锈钢顶板经精密加工和哑光处理，平面度达0.05 mm/m²，粗糙度≤0.8 μm。台面厚度可选100 mm、200 mm或300 mm粘接台面，表面M6螺纹孔间距与孔深均为25 mm。平台标准尺寸覆盖1200 mm×900 mm至4000 mm×1500 mm，如需其他特殊尺寸定制，请联系CORZC客服。

螺纹孔规格：M6
螺纹孔间距：25 mm
高度：800 mm (可定制)
脚轮设计，方便移动

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型号				交期	型号参数
SPQ-C-1209	1200 mm × 900 mm × 100 mm	气浮隔振（空气弹簧）	≤ 2 Hz	4周	点击放大气浮隔振光学平台，台面尺寸 1200 mm × 900 mm × 100 mm，高度 800 mm，固有频率垂直：1.0~2.0 Hz；水平：1.0~2.0 Hz，无磁台面型号参数与资料 3D 模型文件台面尺寸 1200 mm × 900 mm × 100 mm 平台高度 800 mm 固有频率垂直：1.0~2.0 Hz；水平：1.0~2.0 Hz 隔振方式气浮隔振（空气弹簧）台面平面度 0.05~0.10 mm/600×600mm 台面粗糙度 0.8 μm 调节方式自动调平气源静音空气压缩机＜ 50 dB 支撑腿数 4 自重 187 kg 载荷 292 kg 调节高度 ± 10 mm 重复定位精度 ± 0.1 mm
SPQ-C-1510	1500 mm × 1000 mm × 200 mm	气浮隔振（空气弹簧）	≤ 2 Hz	4周	点击放大气浮隔振光学平台，台面尺寸 1500 mm × 1000 mm × 200 mm，高度 800 mm，固有频率垂直：1.0~2.0 Hz；水平：1.0~2.0 Hz，无磁台面型号参数与资料 3D 模型文件台面尺寸 1500 mm × 1000 mm × 200 mm 平台高度 800 mm 固有频率垂直：1.0~2.0 Hz；水平：1.0~2.0 Hz 隔振方式气浮隔振（空气弹簧）台面平面度 0.05~0.10 mm/600×600mm 台面粗糙度 0.8 μm 调节方式自动调平气源静音空气压缩机＜ 50 dB 支撑腿数 4 自重 305 kg 载荷 983 kg 调节高度 ± 10 mm 重复定位精度 ± 0.1 mm
SPQ-C-1810	1800 mm × 1000 mm × 200 mm	气浮隔振（空气弹簧）	≤ 2 Hz	4周	点击放大气浮隔振光学平台，台面尺寸 1800 mm × 1000 mm × 200 mm，高度 800 mm，固有频率垂直：1.0~2.0 Hz；水平：1.0~2.0 Hz，无磁台面型号参数与资料 3D 模型文件台面尺寸 1800 mm × 1000 mm × 200 mm 平台高度 800 mm 固有频率垂直：1.0~2.0 Hz；水平：1.0~2.0 Hz 隔振方式气浮隔振（空气弹簧）台面平面度 0.05~0.10 mm/600×600mm 台面粗糙度 0.8 μm 调节方式自动调平气源静音空气压缩机＜ 50 dB 支撑腿数 4 自重 344 kg 载荷 943 kg 调节高度 ± 10 mm 重复定位精度 ± 0.1 mm
SPQ-C-2010	2000 mm × 1000 mm × 200 mm	气浮隔振（空气弹簧）	≤ 2 Hz	4周	点击放大气浮隔振光学平台，台面尺寸 2000 mm × 1000 mm × 200 mm，高度 800 mm，固有频率垂直：1.0~2.0 Hz；水平：1.0~2.0 Hz，无磁台面型号参数与资料 3D 模型文件台面尺寸 2000 mm × 1000 mm × 200 mm 平台高度 800 mm 固有频率垂直：1.0~2.0 Hz；水平：1.0~2.0 Hz 隔振方式气浮隔振（空气弹簧）台面平面度 0.05~0.10 mm/600×600mm 台面粗糙度 0.8 μm 调节方式自动调平气源静音空气压缩机＜ 50 dB 支撑腿数 4 自重 375 kg 载荷 912 kg 调节高度 ± 10 mm 重复定位精度 ± 0.1 mm
SPQ-C-1512	1500 mm × 1200 mm × 200 mm	气浮隔振（空气弹簧）	≤ 2 Hz	4周	点击放大气浮隔振光学平台，台面尺寸 1500 mm × 1200 mm × 200 mm，高度 800 mm，固有频率垂直：1.0~2.0 Hz；水平：1.0~2.0 Hz，无磁台面型号参数与资料 3D 模型文件台面尺寸 1500 mm × 1200 mm × 200 mm 平台高度 800 mm 固有频率垂直：1.0~2.0 Hz；水平：1.0~2.0 Hz 隔振方式气浮隔振（空气弹簧）台面平面度 0.05~0.10 mm/600×600mm 台面粗糙度 0.8 μm 调节方式自动调平气源静音空气压缩机＜ 50 dB 支撑腿数 4 自重 344 kg 载荷 941 kg 调节高度 ± 10 mm 重复定位精度 ± 0.1 mm
SPQ-C-1812	1800 mm × 1200 mm × 200 mm	气浮隔振（空气弹簧）	≤ 2 Hz	4周	点击放大气浮隔振光学平台，台面尺寸 1800 mm × 1200 mm × 200 mm，高度 800 mm，固有频率垂直：1.0~2.0 Hz；水平：1.0~2.0 Hz，无磁台面型号参数与资料 3D 模型文件台面尺寸 1800 mm × 1200 mm × 200 mm 平台高度 800 mm 固有频率垂直：1.0~2.0 Hz；水平：1.0~2.0 Hz 隔振方式气浮隔振（空气弹簧）台面平面度 0.05~0.10 mm/600×600mm 台面粗糙度 0.8 μm 调节方式自动调平气源静音空气压缩机＜ 50 dB 支撑腿数 4 自重 395 kg 载荷 890 kg 调节高度 ± 10 mm 重复定位精度 ± 0.1 mm
SPQ-C-2012	2000 mm × 1200 mm × 200 mm	气浮隔振（空气弹簧）	≤ 2 Hz	4周	点击放大气浮隔振光学平台，台面尺寸 2000 mm × 1200 mm × 200 mm，高度 800 mm，固有频率垂直：1.0~2.0 Hz；水平：1.0~2.0 Hz，无磁台面型号参数与资料 3D 模型文件台面尺寸 2000 mm × 1200 mm × 200 mm 平台高度 800 mm 固有频率垂直：1.0~2.0 Hz；水平：1.0~2.0 Hz 隔振方式气浮隔振（空气弹簧）台面平面度 0.05~0.10 mm/600×600mm 台面粗糙度 0.8 μm 调节方式自动调平气源静音空气压缩机＜ 50 dB 支撑腿数 4 自重 432 kg 载荷 856 kg 调节高度 ± 10 mm 重复定位精度 ± 0.1 mm
SPQ-C-2412	2400 mm × 1200 mm × 200 mm	气浮隔振（空气弹簧）	≤ 2 Hz	4周	点击放大气浮隔振光学平台，台面尺寸 2200 mm × 1200 mm × 200 mm，高度 800 mm，固有频率垂直：1.0~2.0 Hz；水平：1.0~2.0 Hz，无磁台面型号参数与资料 3D 模型文件台面尺寸 2400 mm × 1200 mm × 200 mm 平台高度 800 mm 固有频率垂直：1.0~2.0 Hz；水平：1.0~2.0 Hz 隔振方式气浮隔振（空气弹簧）台面平面度 0.05~0.10 mm/600×600mm 台面粗糙度 0.8 μm 调节方式自动调平气源静音空气压缩机＜ 50 dB 支撑腿数 4 自重 495 kg 载荷 789 kg 调节高度 ± 10 mm 重复定位精度 ± 0.1 mm
SPQ-C-3012	3000 mm × 1200 mm × 300 mm	气浮隔振（空气弹簧）	≤ 2 Hz	4周	点击放大气浮隔振光学平台，台面尺寸 3000 mm × 1200 mm × 300 mm，高度 800 mm，固有频率垂直：1.0~2.0 Hz；水平：1.0~2.0 Hz，无磁台面型号参数与资料 3D 模型文件台面尺寸 3000 mm × 1200 mm × 300 mm 平台高度 800 mm 固有频率垂直：1.0~2.0 Hz；水平：1.0~2.0 Hz 隔振方式气浮隔振（空气弹簧）台面平面度 0.05~0.10 mm/600×600mm 台面粗糙度 0.8 μm 调节方式自动调平气源静音空气压缩机＜ 50 dB 支撑腿数 6 自重 790 kg 载荷 1179 kg 调节高度 ± 10 mm 重复定位精度 ± 0.1 mm
SPQ-C-2015	2000 mm × 1500 mm × 200 mm	气浮隔振（空气弹簧）	≤ 2 Hz	4周	点击放大气浮隔振光学平台，台面尺寸 2000 mm × 1500 mm × 200 mm，高度 800 mm，固有频率垂直：1.0~2.0 Hz；水平：1.0~2.0 Hz，无磁台面型号参数与资料 3D 模型文件台面尺寸 2000 mm × 1500 mm × 200 mm 平台高度 800 mm 固有频率垂直：1.0~2.0 Hz；水平：1.0~2.0 Hz 隔振方式气浮隔振（空气弹簧）台面平面度 0.05~0.10 mm/600×600mm 台面粗糙度 0.8 μm 调节方式自动调平气源静音空气压缩机＜ 50 dB 支撑腿数 4 自重 470kg 载荷 705 kg 调节高度 ± 10 mm 重复定位精度 ± 0.1 mm
SPQ-C-2415	2400 mm × 1500 mm × 200 mm	气浮隔振（空气弹簧）	≤ 2 Hz	4周	点击放大气浮隔振光学平台，台面尺寸 2400 mm × 1500 mm × 200 mm，高度 800 mm，固有频率垂直：1.0~2.0 Hz；水平：1.0~2.0 Hz，无磁台面型号参数与资料 3D 模型文件台面尺寸 2400 mm × 1500 mm × 200 mm 平台高度 800 mm 固有频率垂直：1.0~2.0 Hz；水平：1.0~2.0 Hz 隔振方式气浮隔振（空气弹簧）台面平面度 0.05~0.10 mm/600×600mm 台面粗糙度 0.8 μm 调节方式自动调平气源静音空气压缩机＜ 50 dB 支撑腿数 4 自重 540 kg 载荷 699 kg 调节高度 ± 10 mm 重复定位精度 ± 0.1 mm
SPQ-C-3015	3000 mm × 1500 mm × 300 mm	气浮隔振（空气弹簧）	≤ 2 Hz	4周	点击放大气浮隔振光学平台，台面尺寸 3000 mm × 1500 mm × 300 mm，高度 800 mm，固有频率垂直：1.0~2.0 Hz；水平：1.0~2.0 Hz，无磁台面型号参数与资料 3D 模型文件台面尺寸 3000 mm × 1500 mm × 300 mm 平台高度 800 mm 固有频率垂直：1.0~2.0 Hz；水平：1.0~2.0 Hz 隔振方式气浮隔振（空气弹簧）台面平面度 0.05~0.10 mm/600×600mm 台面粗糙度 0.8 μm 调节方式自动调平气源静音空气压缩机＜ 50 dB 支撑腿数 6 自重 812 kg 载荷 1049 kg 调节高度 ± 10 mm 重复定位精度 ± 0.1 mm
SPQ-C-4015	4000 mm × 1500 mm × 300 mm	气浮隔振（空气弹簧）	≤ 2 Hz	4周	点击放大气浮隔振光学平台，台面尺寸 4000 mm × 1500 mm × 300 mm，高度 800 mm，固有频率垂直：1.0~2.0 Hz；水平：1.0~2.0 Hz，无磁台面型号参数与资料 3D 模型文件台面尺寸 4000 mm × 1500 mm × 300 mm 平台高度 800 mm 固有频率垂直：1.0~2.0 Hz；水平：1.0~2.0 Hz 隔振方式气浮隔振（空气弹簧）台面平面度 0.05~0.10 mm/600×600mm 台面粗糙度 0.8 μm 调节方式自动调平气源静音空气压缩机＜ 50 dB 支撑腿数 8 自重 1060 kg 载荷 1410 kg 调节高度 ± 10 mm 重复定位精度 ± 0.1 mm